Cuimsíonn an rialtóir gearrtha plasma na comhpháirteanna seo a leanas go príomha:
Foinse cumhachta ardmhinicíochta: Úsáidtear é chun réimse leictreach ardmhinicíochta a ghiniúint;
Líonra meaitseála: Úsáidtear é chun dáileadh an réimse leictrigh ardmhinicíochta laistigh den seomra plasma a choigeartú;
Seomra plasma: Úsáidtear é chun móilíní gáis a ianú agus plasma a ghiniúint;
Córas folúis: Cinntíonn sé leibhéal folúis agus cobhsaíocht an tseomra plasma;
Córas rialaithe: Úsáidtear é chun paraiméadair plasma a rialú agus rialú cobhsaí a bhaint amach ar airíonna leictreacha an plasma.
